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科目代碼	MTC0015	課程名稱	薄膜工程與分析技術
英文名稱	Thin Film Engineering and Analysis Technology
全/半年	半	必/選修	選修
學分數	3.0	每週授課時數	正課時數: 3.0 小時, 實驗時數: 0.0 小時
先修課程
課程簡介	薄膜製程是近年來高科技產業重要製程技術之一，廣泛應用於機械工業之刀具、模具以及光學元件、感測器及半導體工業等。此門課程將提供此項技術之介紹、相關配備、原理與能量提供方式，教導學生明瞭薄膜形成有關之氣體分子運動理論、真空技術等基本理論，物理氣相沉積法、化學氣相沉積法之薄膜工程技術；亦傳授薄膜生長過程與結構變化、薄膜之特性分析技術，其中也涉及薄膜之應用。讓學生獲得薄膜材料的特性、用途、檢測等基本知識，並學習物理氣相沉積法成長薄膜製程之基本操作。
課程目標		對應系所核心能力
1.　瞭解薄膜製程技術之種類與基本理論。		學士: 　1-1 運用數學、物理及機電工程知識的能力。
2.　瞭解薄膜之成長機制及結構變化。		學士: 　1-1 運用數學、物理及機電工程知識的能力。
3.　認識薄膜特性分析技術之種類與原理。		學士: 　1-2 設計與執行機電相關實驗，以及分析與解釋數據的能力。 碩士: 　2-2 策劃及執行機電專題研究的能力。
4.　學會物理氣相沉積法成長薄膜製程之基本操作。		學士: 　1-3 執行機電工程實務所需技術、技巧及使用現代工具的能力。 碩士: 　2-1 機電工程領域的專業知識。